使用顯微鏡進行雷射微加工的最常用方法，這種方法通常要使用一個裝有顯微鏡的YAG雷射儀。）最初只將YAG基波（1064nm）用於此領域，後來又陸續開發出使用第二諧波（532nm）、第三諧波（355nm）和第四諧波（266nm）的雷射儀，今後還可能會開發出其他形式的雷射儀。這些產品配套使用的三豐(友豐)物鏡包括NIR系列、 NUV系列和UV系列。用戶可根據實際需要選用最適合的類型（從近紅外線範圍的熱處理到紫外線範圍的光學處理）和根據具體材料選擇最適合的鐳射種類。由於這些物鏡具有長工作距離，加工過程中很少會出現蒸發物污染鏡頭的情況。因此，加工厚玻璃罩內的真空室或氣體環境中的工件就顯得較為容易。超長工作距離物鏡還可用於修復半導體掩膜和LCD，或與裝配在“FS 70” 或“VM-ZOOM”雷射埠上的三豐(友豐)顯微鏡一起安裝在探針台，組成鐳射顯微鏡後，可通過鐳射剝離純化層進行檢測。
